锂電專用真空烘箱，廣泛用于化工、電子、食品、輕工、醫藥、等行業，可以在真空狀態下對物料進行幹燥。具有幹燥速度快、汙染小、不對被幹燥物品的內在質量造成破壞的優點。電池專用真空烘箱是專門針對锂離子電池烘烤工藝設計的真空烘箱，由于烘箱物料的特殊性，锂電池專用烘箱需要具備耐強酸堿腐蝕、溫控精確、程控高效、穩定安全等特點。

目前在锂电池行业应用最为广泛的有三层真空烘箱、单层真空烘箱、对开门真空烘箱、四门圆仓真空烘箱等规格，其中三层真空烘箱(665mm宽×310mm高×750mm深 ×3层)使用最为广泛。可以用来烘烤分切后的极片、电芯和注液前的电池。

四門圓倉真空烘箱(φ450mm、φ550mm、φ600mm、φ650mm)，也有單門圓倉真空烘箱、六門圓倉真空烘箱等型號。圓倉真空烘箱可以用來烘烤塗布完的整卷極片，此類烘箱的烘烤可以輥壓和分切之前顯著降低整卷極片中的水分，目前在動力電池生産過程中已經開始逐漸推廣，銀通、中聚等電池巨頭已經開始廣泛采用。

對開門真空烘箱，一般是三層，可以鑲在幹燥車間和注液車間之間的牆上。幹燥車間將物料放入烘箱，完成烘烤後可以直接從注液車間一側取出，注液。提高了流轉效率，更重要的是避免了從真空烘箱取出物料運送至另一個車間中環節中水分再次浸入的可能性。

全自動真空烘箱，以上的規格在生産使用中都有手動型和自動(程控)型，手動型可以通過按鈕進行加熱、抽真空、充氮氣，加熱計時等功能;自動型可以根據具體工藝編制烘烤程序設定烘烤時間、溫度，自動循環次數等參數，全程無人值守，程序完成自動停機。